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精密定位系統(tǒng)/平移臺/掃描

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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡
高精度微型振鏡/壓電掃描鏡該系統(tǒng)是一個(gè)完整的光束控制系統(tǒng)。在緊湊的體積（直徑12mm）中包含壓電馬達(dá)、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器。在微型振鏡上安裝了一個(gè)鍍鋁膜的鏡子，每秒可旋轉(zhuǎn)1100°，精度可達(dá)到0.025°。

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顯微鏡物鏡掃描臺
顯微鏡物鏡掃描臺：上海昊量推出的物鏡掃描臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。

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大功率/高壓壓電促動器精密定位平臺
大功率/高壓壓電促動器精密定位平臺，昊量光電推出各種大功率/高壓壓電促動器產(chǎn)品，具有高負(fù)載力，高共振頻率，大行程等特點(diǎn)，是材料表征，傳感器測試，脈沖發(fā)生等領(lǐng)域的有力工具。

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半導(dǎo)體/薄膜無損檢測儀
半導(dǎo)體/薄膜無損檢測儀：半導(dǎo)體行業(yè)為我們周圍遇到的大多數(shù)電子設(shè)備提供了基本組件。它的制造需要在硅晶片上進(jìn)行多次薄膜沉積，。

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納米精度電動平移臺。
納米精度電動平移臺。電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機(jī)和控制器。驅(qū)動電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

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納米精度電動升降臺.
納米精度電動升降臺.，電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機(jī)和控制器。驅(qū)動電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

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壓電馬達(dá)線性平移臺
U-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺擁有*的特點(diǎn)。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺。$n該平移臺采用無聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過一個(gè)耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號，可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺的Z大速度可達(dá)到400m

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超小型亞微米AF自動聚焦模塊
超小型亞微米AF自動聚焦模塊是集成了微型壓電馬達(dá)、內(nèi)置控制器、位移傳感器和微處理器于一體的微機(jī)械模塊。

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單軸壓電掃描臺/納米平移臺
單軸壓電掃描臺/納米平移臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，以柔性鉸鏈為運(yùn)動副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

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超緊湊線性平移臺（亞微米）
超緊湊線性平移臺（亞微米）是集動力系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一身的微機(jī)械系統(tǒng)。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個(gè)世界上Z小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動、非接觸式磁感應(yīng)陣列位置傳感器和PID控制器。

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