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昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無掩模光刻機的獨代!

更新時間:2023-02-10 點擊次數(shù):4556

 

喜報!昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無掩模光刻機獨家代理。

 

上海昊量光電設備有限公司自2023年1月1日正式成為Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD無掩光刻系統(tǒng)的中國區(qū)獨家代理商,此次獲得Microlight3D的授權,體現(xiàn)了Microlight3D對上海昊量光電設備有限公司市場銷售的專業(yè)度及售后技術支持力量的高度認可。我們將一如既往的為國內(nèi)廣大用戶提供更為優(yōu)質的服務。

 

Microlight3D成立于2016年,在格勒諾布爾阿爾卑斯大學(Université Grenoble Alpes,UGA)進行了長達15年的3D微型打印技術研發(fā)。格勒諾布爾阿爾卑斯大學創(chuàng)建于1339年,是一所擁有近七百年歷史的國立綜合研究型大學,是歐洲最古老的大學之一,教學科研實力處于法國頂尖、世 界一流水平。作為具有世界影響力的法國公立大學,格勒諾布爾-阿爾卑斯大學先后誕生過3位諾貝爾獎獲得者(克勞斯·馮·克利青、路易·奈爾、熱拉爾·穆魯),1位圖靈獎獲得者(約瑟夫·斯發(fā)基斯)。

 

Microlight3D公司一直在快速發(fā)展,得益于Smart Print UV System在各地的實驗室和公立私立研究中心的大量銷售。

 

Microlight3D公司推出的DMD無掩模光刻系統(tǒng)Smart Print UV系列,是一種基于DMD投影技術的無掩模光刻設備,可兼容多種抗蝕劑和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下產(chǎn)生任何2D形狀,而不需要硬掩模。

 

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Smart PrintUV系統(tǒng)特點:

 

最小特征尺寸1.5um

可更換目標的可調(diào)節(jié)寫入?yún)^(qū)域和分辨率

兼容CAD文件及bitmap文件

兼容SU-8、g線、h 線、i 線等絕大部分光刻膠

兼容多種基材(硅、玻璃、柔性薄膜、金屬、塑料等)

兼容多種樣品尺寸:2''4''晶圓、4''5''方形或者定制更大尺寸、顯微鏡矩形載玻片、14mm25mm圓形載玻片

反饋相機:聚焦,對齊,準直

手動旋轉臺:360°可旋轉,精度 0.1°

 

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桌面型,占地空間小

曝光速度相比同類型產(chǎn)品更快!

ji具性價比!

軟件操作和設備維護簡單!

交貨周期短!

可免費打樣!

 

Smart PrintUV功能選件:

 

1X Objective 磁吸快速更換鏡頭

10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 µm resolution

5X Objective 磁吸快速更換鏡頭

2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 µm resolution

10X Objective 磁吸快速更換鏡頭

1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution

 

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4" 晶圓樣品支架

玻璃載玻片樣品支架

 

圖片4.png

 

多用途大型樣品支架

兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圓, 顯微鏡載玻片, 14 mm & 25 mm 圓形載玻片

 

圖片5.png

 

定制化樣品支架

根據(jù)客戶要求,可適應更大樣品尺寸多個樣品;兼容柔性膜材基底New!

保修期延期

設備保修期2年,軟件免費升級2


Smart PrintUV核心規(guī)格

 

型號

SP-UV.Standard

SP-UV.Advanced

光源

曝光波長:385nm;校準波長:590nm

最小特征尺寸

1.5um

度(1cm2區(qū)域)

2um

1um

拼接精度

2um

1um

最大曝光范圍

70×70mm2

110×110mm2

尺寸

4英寸(wafer)

5英寸(方形)

寫入速度

77mm2/min

220mm2/min

系統(tǒng)尺寸

××高:52(cm)×52(cm)×69(cm)

軟件包:

電腦

Windows 10Pro, 24inch屏幕

SFTprint軟件

機器控制、步進重復、自動劑量測試、拼接、對齊

SFT轉換器

將標準CAD格式(gdsiidxf、cif、oas)轉換為機器格式;包含CAD軟件

鏡頭選項:

物鏡

1X

2.5X

5X

10X

寫入?yún)^(qū)域(mm

10.56×5.94

4.2×2.4

2.1×1.2

1.06×0.59

最小線寬(um

15

6

3

1.5

 








Smart PrintUV應用領域:


 

Smart Print UV需要制作表面微圖案、微結構的任何應用領域的wan美設計,如MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學,生物技術和微電子

 

Microlight3D公司還有另外一款明星產(chǎn)品-雙光子聚合3D納米光刻機。

2007年,第一代雙光子聚合3D納米光刻機microFAB-3D問世,在中國大陸、中國臺灣和歐洲地區(qū)有大量的銷售。

2018年,公司獲得了法國研究與創(chuàng)新部頒發(fā)的公共研究領域最 ju創(chuàng)新力年輕公司獎

2019年,推出了第一代緊湊型桌面式雙光子聚合3D納米光刻機。

       2019年,Microlight3D完quan收購了無掩模光刻系統(tǒng)制造商SmartForceTechnologies。

 

圖片6.png

 

未來,上海昊量光電設備有限公司將獲得Microlight3D更多的資源支持,昊量光電也將繼續(xù)秉承互利共贏的發(fā)展理念,充分發(fā)揮自身強大的專業(yè)技術溝通和服務優(yōu)勢,力爭為國內(nèi)MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學,生物技術和微電子等應用領域的研究和推廣貢獻一份力量,滿足并不斷超越客戶的期望,致力于為國內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領域提供優(yōu)質的產(chǎn)品與服務,助力中國智造與中國創(chuàng)造。

歡迎繼續(xù)關注上海昊量光電的各大媒體平臺,我們將不定期推出各種產(chǎn)品介紹與技術新聞。


更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關于昊量光電:

上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學測量設備、光學元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設備安裝,培訓,硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務。

 

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