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大載重量二維壓電平移臺
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的二維平移臺主要是為在計量學(xué)中樣品的精確操控和顯微鏡等應(yīng)用而設(shè)計的。推出的二維平移臺主要分為以下兩種。
1). 緊湊型二維壓電馬達(dá)平移臺AUXY-XLS
AUXY-XLS由兩個AU-XLS平移臺組成，而且不需要額外的適配板。因為其由兩個AU-XLS一維位移平臺組成，該位移臺采用無聲的超聲馬達(dá)，在提供大的行程的同時擁有較高的精度。該平臺使用壽命長、快速（400mm/s）、無噪聲、斷電自鎖等特點。
2).大推力二維壓電平移臺AUXY-XSS
AUXY-XSS掃描臺是對高精度和高重復(fù)性要求的大載重量顯微鏡和計量應(yīng)用設(shè)計的。該平臺在載重量超過20kg時仍可提供亞微米的精度和高的穩(wěn)定性。該位移臺由壓電促動器和光學(xué)編碼器組成，當(dāng)您需要移動大的部件并要求納米級的精度和超低的穩(wěn)定時間時，AUXY-XSS是該要求的*解決方案，并且該款平移臺可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行定制。
主要特點
l 大行程 （92mm）
l 大載重量（20kg）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計量學(xué)
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